六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体、不燃的稳定气体，它属于一种海南气体，分子量为146.06，20℃和0.1MPa密度为6.1kg/m3，约为空气密度的5倍。六氟化硫分子结构为八面体，键合距离小，键合能高，稳定性高。当温度不超过180℃时，与电气结构材料的相容性与氮相似。新一代超高压绝缘介质材料，广泛应用于电子和电气设备的气体绝缘。电子高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，作为计算机芯片、液晶屏等大型集成电路制造的等离子蚀刻和清洗剂。